光刻机概念股,建议收藏!!一、整机与系统集成1、张江高科:通过参股上海微电子布局光刻机产业链2、上海电气:控股股东为上海微电子重要股东3、海立股份:上海电气旗下企业,参与光刻机配套设备二、核心部件①光源系统4、茂莱光学:精密光学元件核心供应商5、福晶科技:全球非线性光学晶体龙头6、波长光电:光刻机激光光学元件厂商②物镜与光学系统7、奥普光电:长春光机所旗下,承担物镜系统研发8、赛微电子:MEMS光学器件技术领先③控制系统9、电科数字:光刻机运动控制模块开发商④精密结构件10、富创精密:半导体设备精密零部件龙头11、新莱应材:高纯不锈钢材料供应商三、关键材料与设备①光刻胶与材料12、南大光电:ArF光刻胶国产化核心13、晶瑞电材:g/i线、KrF光刻胶供应商14、清溢光电:掩膜版国内龙头②辅助设备15、芯源微:涂胶显影设备国内唯一供应商四、下游制造与验证16、中微公司:刻蚀设备国际领先17、中芯国际:光刻机核心用户18、华虹半导体:特色工艺龙头五、科研与产业化19、炬光科技:高功率激光器件供应商20、苏大维格:纳米压印光刻技术储备